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半导体代工系统建模及案例研究

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2022-11-14 16:34:28

提出了一种IDEF0与Petrinet相结合的建模方法,利用IDEF0静态模型对车间内的系统及各子系统之间的相互关系进行详细描述,利用Petri网的静态及动态特性描述了该系统中存在的回流,并发,资源共享,随机性的重做以及突发性设备故障等现象.以一个代工厂光刻系统为例,对该建模方法进行了具体介绍.


标签： 芯片 半导体 案例 

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